它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。

　　無油真空泵的使用維護：

　　1、應具有充分良好的通風條件及低于40℃的環境溫度。

　　2、無灰塵及臟物的清潔場所。

　　3、無水、油等液體會降落到泵上。

　　4、不直接暴露在陽光里。

　　5、有足夠的周圍空間能便于泵的檢查，維護和裝拆。

　　6、泵必須安裝在平坦的平面上。

　　7、最好將泵放在類似混凝土堅硬的地基上安裝，如果沒有條件，也可將泵牢固地安裝在鋼制或木制的機架上。

　　8、必須確保泵不因基礎不牢固而引起震動。

　　9、與泵連接管道不宜過長和小于泵進口徑，影響抽速，同是注意檢查真空連接管道有否漏氣。

　　10、接電線時，應注意電機銘牌上的規定接線要求。三相電泵要注意電機旋轉方向應與泵上的標示箭頭方向一致。